朗道科技

成立于2024年，创始人王豪博士及其团队以清华大学王教授/气体放电等离子体实验室的研发成果为基础，聚焦半导体制造核心技术——EUV光刻光源。

朗道科技现阶段在研产品为轴快流CO2激光器（3kW），作为EUV驱动光源；同时开发了等离子体工业仿真软件，以支持EUV光源功率放大。

朗道将以激光诱导等离子体LPP路线为阶段性目标，逐步攻克高功率高重频脉冲激光器（20kW）、超声微液滴发生技术、激光自动对准技术、EUV光源、真空腔体、等离子体仿真计算等，最终实现完全自主可控的最新一代EUV光刻机光源技术。